Инфоурок Химия СтатьиМОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТИ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СИСТЕМ SiO2/Si ОСАЖДЕННЫХ ОЛОВОМ

МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТИ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СИСТЕМ SiO2/Si ОСАЖДЕННЫХ ОЛОВОМ

Скачать материал
библиотека
материалов

МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТИ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СИСТЕМ SiO2/Si ОСАЖДЕННЫХ ОЛОВОМ

Для изготовления компонентов нано- и оптоэлектроники очень актуальны структуры с наноразмерными неоднородностями, создаваемыми на основе ди- электрической матрицы диоксида кремния на кремнии с порами, которые впо- следствии заполняются металлами. Нанопоры в матрице создаются путем облу- чения диэлектрического слоя быстрыми тяжелыми ионами, в результате чего образуются латентные треки. Последующее травление ведет к образованию на- нопор на месте латентных треков, которые впоследствии заполняются металлом.

 

Рис. 1. Поверхность структурыSi/SiO2/Sn,Xe(133 МэВ, 1×109 см-2)

В данной работе формирование треков происходило за счет облучения структуры SiO2/Si быстрыми тяжелыми ионами ксенона с энергией 133 МэВ и

 

флюенсом 1×109см-2на ускорителе DЦ-60 (Астана, Казахстан).Наноразмерные поры были получены посредством химического травления облученных струк- тур SiO2/Si во фтористоводородной кислоте [1]. Затем данные поры были за- полнены оловом химическим методом осаждения. Была изучена морфология поверхности и оптические свойства структуры Si/SiO2/Sn.

Морфология поверхности осажденной оловом системы SiO2/Si была изучена посредством сканирующей электронной и атомно-силовой микроскопии. Из по- лученных снимков видно, что заполнение пор оловом в результате химического осаждения происходит полностью и селективно (рисунок 1). Для полученных структур Si/SiO2/Sn были получены спектры фотолюминесценции.

Таким образом, был отработан режим заполнения пор оловом химическим методом осаждения длянанопористого SiO2/Si.

 

1. Al’zhanova A., Dauletbekova A., et al., Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B., Vol. 374., (2016).

 

  • Если Вы считаете, что материал нарушает авторские права либо по каким-то другим причинам должен быть удален с сайта, Вы можете оставить жалобу на материал.
    Пожаловаться на материал
Курс профессиональной переподготовки
Учитель химии
Скачать материал
Найдите материал к любому уроку,
указав свой предмет (категорию), класс, учебник и тему:
также Вы можете выбрать тип материала:
Скачать материал

Вам будут интересны эти курсы:

Курс повышения квалификации «Химия окружающей среды»
Курс профессиональной переподготовки «Химия: теория и методика преподавания в образовательной организации»
Курс профессиональной переподготовки «Библиотечно-библиографические и информационные знания в педагогическом процессе»
Курс повышения квалификации «Нанотехнологии и наноматериалы в биологии. Нанобиотехнологическая продукция»
Курс повышения квалификации «Организация практики студентов в соответствии с требованиями ФГОС медицинских направлений подготовки»
Курс повышения квалификации «Особенности подготовки к сдаче ОГЭ по химии в условиях реализации ФГОС ООО»
Курс профессиональной переподготовки «Биология и химия: теория и методика преподавания в образовательной организации»
Курс повышения квалификации «Современные образовательные технологии в преподавании химии с учетом ФГОС»
Курс профессиональной переподготовки «Корпоративная культура как фактор эффективности современной организации»
Курс профессиональной переподготовки «Политология: взаимодействие с органами государственной власти и управления, негосударственными и международными организациями»
Курс профессиональной переподготовки «Техническое сопровождение технологических процессов переработки нефти и газа»
Курс профессиональной переподготовки «Организация системы учета и мониторинга обращения с отходами производства и потребления»
Курс профессиональной переподготовки «Гражданско-правовые дисциплины: Теория и методика преподавания в образовательной организации»

Оставьте свой комментарий

Авторизуйтесь, чтобы задавать вопросы.